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Leybold(莱宝) TURBOVAC MAG W 2200C/CT分子泵 模型

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通用机械零部件 > 泵
2018/12/10 15:24:03

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产品基本信息
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TURBOVAC MAG W 2200C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。 该模型有三种接口:进气口分别为:DN200 ISO-F,DN250 ISO-F和DN250 CF。本参考模型中含有这三种接口的模型。
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