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Leybold(莱宝) TURBOVAC MAG W600P 磁悬浮分子泵模型

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通用机械零部件 > 泵
2018/12/7 10:53:21

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产品基本信息
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TURBOVAC MAG W300P系列耐腐蚀磁悬浮分子泵,最常用于半导体工业,例如蚀刻、CVD、PVD和离子注入,也就是需要抽除腐蚀性气体的应用条件。 TURBOVAC MAC产品线的优势是:- 无碳氢化合物,可以实现清洁的高真空和超高真空条件;- 任何安装方向都具有高性能;- 运行高度可靠;- 振动极低;- 防腐蚀版可以抽除腐蚀性气体;- 免维护。 该模型有两种接口:进气口分别为:DN160 ISO-K和DN160 CF。本参考模型中含有这种接口的模型。——参考莱宝样本
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