COOLVAC 5000 iCL低温泵的工作范围10E-3到≤10E-11mbar（0.75 x 10E-3到≤0.75 x 10E-11托）属于气体捕集泵。低温泵的优势：- 所有气体都有高抽速；- 对水汽有极高的抽速；对于相同直径的高真空法兰，低温泵可以达到所有高真空泵最高的抽速。低温泵的优势2：与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相比，低温泵在真空侧没有任何机械活动部件、润滑油或脂润滑部件。所以： - 10E-3 至 ≤ 10E-11 mbar (0.75 x 10E-3 至≤ 0.75 x 10E-11 Torr).压强范围的无烃真空；- 对外部振动不敏感。 ——参考莱宝样本