TURBOVAC MAG系列耐腐蚀磁悬浮分子泵,适用于从10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压强范围。对空气的抽速从300 l x s-1至3200 l x s-1不等。TURBOVAC MAG 2000 C泵最常用于半导体工业,例如蚀刻、CVD、PVD和离子注入,也就是需要抽除腐蚀性气体的应用条件。 TURBOVAC MAC 2000C产品线的优势是:无碳氢化合物,可以实现清洁的高真空和超高真空条件;任何安装方向都具有高性能;防腐蚀版可以抽除腐蚀性气体。——参考莱宝样本
磁悬浮分子泵_W 2000C.SLDPRT
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