TURBOVAC MAG系列耐腐蚀磁悬浮分子泵，适用于从10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压强范围。 TURBOVAC MAG泵最常用于半导体工业，例如蚀刻、CVD、PVD和离子注入，也就是需要抽除腐蚀性气体的应用条件。 TURBOVAC MAC 830C 产品线的优势是：- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统；- 轴承系统的数字监控；- 噪声和振动低；- 任意方向安装；- 先进的转子设计，实现高抽速和高前级耐压；- 智能电源控制系统；- C版耐腐蚀。 -参考莱宝样本