652系列用于SEMI和FPD工艺的下游压力控制和隔离阀。适用于腐蚀性蚀刻和清洁过程。通导控制几乎为0 ls-1；出色的压力控制性能；用于连接计算机或服务盒的服务端口。 通径从DN200到DN250，有ISO-F、JIS法兰配置，材质有铝和硬质阳极氧化铝两种，每种法兰电气接口分别有G(A/H/C/T/U/V/W)型电源和开关保护选项与和G(H/V/W/C/E/P/Q/D/F/J/K/Y/Z/L/N/I/X/S)型界面选项共组合配置。该模型机含有所有配置（除D-F-S型界面外）—参考VAT样本 本模型集含该型号所有配置的：SolidWorks 2012；step；igs 三种格式文件。