VAT 真空手动插板阀 (手动带位置指示器） Mini UHV gate valve Series 010 DN16 （Manual actuator with position indicator） OrderNr： 01024-KE08 紧凑型迷你UHV闸阀具有模块化驱动器的概念，非常适合工业和研发应用。它常被用于半导体工艺系统管道。密封技术采用monovat系统 氟橡胶（氟橡胶密封门）及金属密封盖和馈通波纹管。阀体材料不锈钢，周期直到第一次保养服务50万次。 技术参数：阀体泄漏率：＜5X10E-10毫巴L/S；阀座泄漏率：< 1X10E-9毫巴L/S；公称内径：毫米（英寸）：16。