15.2 UHV隔离阀特点：非常低的震动；粒子数低；没有真空机制；硫化门密封。15.2系列带双动作气缸，可选择带电磁阀和位置指示器配置。15.2系列为不锈钢阀体。15.2系列采用轴馈入波纹管密封。15.2系列标准法兰有：ISO-F，CF-F，ASA-LP，JIS。本系列通径尺寸有：63；100；160; 200; 250，每种通径阀门有：气缸无指示器无电磁阀；气缸带指示器无电磁阀；气缸无指示器带电磁阀；气缸带指示器和电磁阀四种配置。本模型集包含以上所有配置模型。——参考VAT样本 本模型集含该型号所有配置的：SolidWorks 2012；step； igs 三种格式文件。