用于SEMI，FPD和工业过程的控制和隔离阀。最适合溅射和蚀刻工艺。通过不同的界面和传输方式以及不同的设定点数，通径DN63，有CF-M/(CF-U)、ISO-F、JIS、ASA法兰配置，每种法兰电气接口分别有G(A/H/C/T/U/V/W)型电源和开关保护选项与和G(H/V/W/C/E/P/Q/D/F/J/K/Y/Z/L/N/I/X/S)型界面选项共组合配置。该模型机含有所有配置（除D-F-S型界面外）—参考VAT样本 本模型集含该型号所有配置的：SolidWorks 2012；step；igs 三种格式文件。