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Agilent(安捷伦) VacIon Plus 150（侧安装TSP）大尺寸离子泵模型

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通用机械零部件 > 泵
2018/12/18 14:21:38
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离子组合泵_Vaclon Plus 150 Combination Pump(侧安装 TSP)_Agilent.SLDPRT

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离子热升华组合泵一直很受欢迎,多年来创造超高真空的选择环境。钛升华造成对可抽取气体的特高抽速，而离子抽取机制又可处理不可捕获的气体，例如氩气和甲烷。这种组合泵是VacIon Plus 150,300或500由带有额外8寸法兰端口在侧面或底部安装的。组合泵包括圆柱形低温板和TSP源安装到额外端口。可获取的气体进入圆柱形低温板的末端并被泵送通过与新沉积的钛结合那里。液氮冷却低温板增加了吸杂过程的效率，并大大增加了抽气速度。安捷伦VacIon Plus系列组合泵允许从泵的底部或从侧面添加低温板。这可能是一个重大的优势，存在身高限制的情况下侧部定制的泵配置也可用。——参考安捷伦样本
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