安捷伦IDP-3干式涡旋泵是一款创新，小巧，高性能，无油真空泵，非常适合于各种真空应用范围。 这是为普通真空应用而制造的最小的涡旋泵。它很容易集成到OEM系统中，而且称重只有21磅（9.5公斤）。 然而抽速达到60 l / m和250毫托的非常低的真空度，这是同级别中性能最高的干泵。特点：无油 - 不会污染真空系统；密封设计，完全隔离电机和轴承；低噪音和振动；没有易遭受灾难性破坏的元件；比隔膜泵更低的抽空压力；带有0-10V控制信号的24 VDC电机的速度控制；计时器是所有IDP-3设备的标准配置。——参考Agilent 样本