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氦检是一种检验手段,对被检工件抽空后充入一定压强的氦气,被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱与氦质谱检漏仪检漏口相接,若被检工件有漏,则漏入真空箱的氦气可通过氦质谱检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置,在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。
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